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王奇
 


王奇,大连理工大学高级工程师。                        


2008年8月提前留校,参加工作;2011年4月获得大连理工大学,等离子体物理专业,博士学位;现工作于大连理工大学,物理学院 & 等离子体科学与工程研究中心 & 三束材料改性教育部重点实验室。  


主要研究领域:大气压放电等离子体 & 托卡马克 PSI 数值模拟研究。  


主持完成基金:    

1. “射频辅助脉冲电源驱动同轴介质阻挡放电脱除NOx的数值模拟研究”,国家自然科学基金,青年基金,2015.01-2017.12,经费28万元;

2. “脉冲调制射频放电等离子体技术脱硝的初步研究”,中央高校基本科研业务费,2014.05-2015.12,经费4万元。

3. “脉冲调制射频电源激励下同轴电极中大气压介质阻挡放电的数值模拟研究”,国家自然科学基金,主任基金,2013.01-2013.12,经费5万元;

4. “半导体制造工艺中脉冲调制射频放电等离子体研究”,中央高校基本科研业务费,2011.04-2012.12,经费4万元。


参与基金:  

1. “壁表面刻蚀与再沉积原位诊断技术研究”,973专项基金,2013.01-2017.08,经费760万元;

2. “大气压马尔特效应增强脉冲放电等离子体物理与化学活性及其脱除挥发性有机废气应用”,国家自然科学基金,面上项目,2015.01-2018.12,经费85万元;

3. “大气压脉冲射频放电中斑图特性和斑图-辉光转化研究”,国家自然科学基金,面上项目,2015.01-2018.12,经费75万元;

4. “基于CMOS工艺的复合真空传感器系统研究”,国家自然科学基金,青年基金,2013.01-2015.12,经费27万元。



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